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武漢團隊在藍寶石上制作高質量的AlN膜,提升UVC LED前景

2020-04-22    

中國照明網報道

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導語: 來自武漢大學的研究人員報告了一種解決方案,可以解決在藍寶石襯底上生長高質量AlN薄膜的問題。他們特意設計了一種生長改性工藝,以將空隙引入AlN膜中以進行位錯過濾和應力消除,他們說這已在平坦的藍寶石襯底上生產了幾乎無應力的AlN膜,并將結果發表在《應用表面科學》上。

  來自武漢大學的研究人員報告了一種解決方案,可以解決在藍寶石襯底上生長高質量AlN薄膜的問題。他們特意設計了一種生長改性工藝,以將空隙引入AlN膜中以進行位錯過濾和應力消除,他們說這已在平坦的藍寶石襯底上生產了幾乎無應力的AlN膜,并將結果發表在《應用表面科學》上。


通過在生長過程中故意引入空隙來實現位錯過濾和應力消除

  發出在UVC光譜范圍內發光的基于AlGaN的LED引起了越來越多的關注,特別是由于它們在進行中的COVID-19大流行期間具有用于消毒的潛力?!霸谧非蟾咝实幕贏lGaN的UVC LED的商業化過程中,在具有成本效益的基板上實現高質量AlN薄膜是主要的挑戰,” Zhou Shengjun Zhou說?!拔覀兲岢隽艘环N具有成本效益的策略,該策略可以在平坦的藍寶石襯底上生長高質量的AlN薄膜”

  通常,由于晶格常數和AlN與藍寶石之間的熱膨脹系數大的不匹配,在藍寶石襯底上生長的AlN膜遭受晶體質量差和高殘余應力的困擾。研究人員證明,故意引入的空隙通過在空隙側壁處引起空隙終止而顯著減少了潛在的位錯。此外,作為額外的應力釋放通道,這些空隙不僅降低了生長過程中破裂的風險,而且降低了冷卻后的壓縮應力,從而在平坦的藍寶石襯底上形成了幾乎無應力的AlN膜。

  “與圖案化襯底上的外延橫向過度生長策略相比,這種方法通過昂貴的光刻和干法刻蝕步驟產生了空隙,而我們的策略則更加簡單且經濟高效?!? “我們相信這種策略對于基于AlGaN的UVC LED的商業化具有廣闊的前景?!?/p>

  Bin Tang等人的“通過通過生長模式修改引入空隙在藍寶石襯底上生長高質量的AlN膜”;應用表面科學,第一卷。518,146218(2020)。

編輯:嚴志祥

來源:行家說

標簽:武漢  藍寶石  AlN膜  UVC  LED  

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